半導体製造における応用分野
スパッタリング装置／イオン注入装置／蒸着装置／エッチング装置／CVD等
話題の先端技術から、さまざまな基礎研究まで、さらに広がる応用分野。 可能性と夢の開花を、クライオポンプは、支援します。例えば、大字宙の起源を理論上探究することを目的に行われる素粒子の研究。この研究に重要な役割を果たす加速器にも、クライオポンプは利用されています。さまざまな物性や反応を阻害し、そしてそれらの測定や観察を遮る余分な水をはじめとするイオンや粒子。クライオポンプは、これらをスピーディーに排出しクリーンな真空を実現。あらゆる物性・物理研究分野において、なくてはならないデバイスとしてその応用範囲は、まだまだ広がりをもっています。研究テーマに合わせたクライオポンプを御提案致します。次代の新技術、夢の科学の実現ヘ。CRYOTECがサポートします。
物性・物理研究における応用分野
加速器／核融合装置／電子顕微鏡／分子線エピタキシャル装置（MBE）／スペースチャンバー／表面分析装置／イオンビーム測定装置
独自の冷凍・極低温技術が生んだ高性能クライオポンプ。極低温で超高真空を作るクライオポンプとは気体分子は、絶対零度（-273.15℃）近くに冷却された面に衝突すると、凝縮、吸着する特性をもっています。この特性を利用し、極低温によって気体分子を排出するのがクライオポンプの原理です。
クライオポンプは、2段階の冷凍機で構成され、ファーストステージ（50K〜80K）バッフル部：主に水蒸気を吸着。セカンドステージ（10K〜20K〉：酸素や窒素、アルゴンなどの気体分子を凝縮吸着。さらに凝縮温度の低い水素やヘリウム、ネオンなどもセカンドステージ内面にコーティングした活性炭によって低温吸着。これによって処理空間内の気体を希薄にし10-8Pa以下という超高真空を作り出します。高効率で極めて高い信頼性を誇る《改良ソルペイサイクル》を採用。
クライオポンプは、心臓部ともいえる冷凍サイクルに《改良ソルベイサイクル》方式を採用しています。改良ソルベイサイクル方式の採用により機械的複雑さがなく、極めて信頽性の高い運転を実現。部品点数も少なくメンテナンスもスピーディーに行えます。
特長
空調冷凍技術を結集した《ヘリウム専用圧縮機》
独自の空調冷凍技術を活かしヘリウムガス（冷媒）の特牲にマッチした専用圧縮機を開発。高い効率と信頼性を実現。また圧縮機ユニットには、潤滑性と冷却牲を高めたオイルインジェクション（強制オイル注入）システムを採用。耐久性も飛躍的に向上させています。
10-8Pa以下の超高真空を実現。
ヘリウムによって生み出された10K（-263℃）の極低温がファーストステージ50〜80K、セカンドステージ10K〜20Kの冷却効果を発揮。10-8Paという超高真空を作り出します。（コンフラットフランジ仕様機種）
逆拡散のないクリーンな超高真空
クライオポンプは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。
スピーディーな排気で生産性を向上
到達圧力は、水蒸気の排気速度で決まります。クライオポンプは、特にの水蒸気に対して排気速度が大きく、スピーディーな真空排気で、生産性の向上に貢献します。
オールマイティにすぺての気体に対応
極低温による凝縮と活牲炭による低温吸着の併用で、あらゆる気体をスピーディーに排気します。（毒性、危険性ガスについては対策が必要〉
タテ、ヨコ取付け方向は自在
取付け方向の制約がなく周辺条件や設計思想に合わせた自在な取付けが行えます。
15,000時間毎の長いオーバーホール間隔。日常のメンテナンスはほとんど不要。
15,000時問毎のオーバーホールだけで安定した性能を発揮します。（圧縮機ユニットは30,000時問） |
