低温・真空関連機器、半導体・液晶パネル等製造用薬液の調整・回収装置、表面欠陥検査装置の販売・保守

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真空低温プローバー

極低温測定技術の集大成

真空低温プローバー
真空低温プローバー

世界で初めて極低温プローバーを開発し極低温技術の集大成のARKシリーズから弊社のノウハウと特許も有している「測定ノイズ」や「振動面」、「測定温度範囲」が更に進化した究極の"GRAIL"シリーズそれに様々な用途、測定にも対応可能です。

真空低温プローバー

測定

電気特性(I-V、C-V、DC)

磁場特性

高温、高耐圧環境

高周波測定

真空低温プローバー

用途/使用デバイス

・半導体デバイス
・MEMS
・パワーデバイス
・スピントロニクス
・有機デバイス 
・単電子デバイス
・各種材料

多彩なオプションキット追加可能(詳細はお問合せ下さい。)

マグネットキット 高温キット 高電圧キット G-Boxキット 熱変位吸収キット 

製品ラインナップ

真空中での低ノイズ測定が可能に MEMS対応真空低ノイズプローバー
高温・高耐圧環境での測定を実現 GRAIL 10-HVT-X
安全かつ簡単操作で極低温の測定環境を GRAIL 10-305-X-LV-SCM
80k以下~400℃の温度で真空外から操作 GRAIL 10-LOGOSO1S-X
測定ノイズは業界最高レベルの±50fa以下 GRAIL 10-Helips-X
低ノイズかつ除振動構造 GRAIL 43-305-X-LV
9K以下~300Kの任意の温度にて真空外から操作 GRAIL 10-305-X-LV
いつでも極低温の測定環境を GRAIL 10-205-X-LV