真空低温プローバー GRAIL
10-LOGOS01S-X

主な用途

・アニール（グラフェン、CNTetc）、高温測定用途

多彩なキット

マグネットキット

2poleのマグネットを有し試料付近5mmエリアに8000Gaussの水平磁場設置可能な構造とします。

高温キット

200℃までの測定を可能にするキットです。高温対応センサーに交換、熱伝導材料の高温対応を行います。

低温キット　:開発中

Heガスを排気する事により、サンプルホルダーの到達温度を4.2k近辺まで冷却可能にします。

高電圧 キット

5KVまでの測定を可能にするキットです。真空導入部分には高耐圧同軸ハーメチック構造を持つMHVコネクターを採用し、プローブ針は耐圧を確保する為、単軸の針を採用します。本キット採用時構造上、低ノイズには未対応となりますので御注意下さい。

G-Boxキット

既存のグローブボックス下部スペースにセッティングし大気雰囲気にする事無く試料交換の出来るキットです。グローブボックス形状により取り付け出来ない場合が有りますので、グローブボックス機種名等、御教示下さい。

熱変位吸収キット

冷却、加熱によって収縮膨張し位置の変化した試料ホルダー位置を真空外から移動可能なステージにて移動します。このステージはX軸:　真空方向±12.5mm、真空と垂直方向(Y,Z軸)±1mmの移動ステージとしても利用可能です。

仕様

項目	GRAIL 10-LOGOS01S-X
機器構成	極低温プローバー本体 X 1式
プローバー本体概略寸法	915(W) X 798(D) X 600(H)
重量	プローバー本体：150kg程度
冷却方式	冷媒輸送式冷凍機 型式：LOGOS-01S
測定温度範囲	80K以下～400℃
測定可能エリア	20mm X 20mm以下
最低温度までの冷却時間	60分以内
温度安定性 *1	80K～RT：±0.2ｋ / RT～400K：±1.0K
測定ノイズ	80K～RT:±100fA以下 RT～400℃:±10pA以下
試料ステージ振動量	±2μm以下 / 80K～400℃ドリフト量:±100μm以下
プローブ数	0～6本 *3
プローブ移動量	50mmst（X軸）25mmst（Y/Z軸）
信号コネクター	TRIAXコネクター X（プローブ数+1）*4
試料ステージ移動量	opt
取付可能オプション類 *2	マグネットkit/高温kit/ステージ移動kit