抵抗率測定装置 ResMap

測定精度が高く、再現性の高い測定を実現します

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Creative Design Engineering, Inc (CDE) は、1993年に、半導体および関連業界向けに高性能で費用対効果の高いウエハ計測ツールを開発、製造するために設立されました。 技術革新に取り組み、1993年に300mm対応ツールを、2012年に450mmツールを初めて導入しました。販売及びサポートは世界的なネットワークによって維持管理されています。






測定 [Measurement]

長期的に再現性と精度を提供するため、CDE社はユニークで洗練された高速測定プロセスを開発しました。各測定サイトで何千ものデータをサンプリングした後、独自の統計アルゴリズムが適用され、ノイズ、非線形性、およびゼロ値は実質的に除外されます。0.5%以上の精度と0.02%以上の静的再現性で、1mΩ/sq〜10MΩ/sqの範囲で単一の値が生成されます。


ソフトウエア [Software]

CDE社のシステムは非常に柔軟で直感的なソフトウェアを使用しています。
制約のない定義の測定パターンから、リアルタイムのモニタリング、ユーザーに関連するデータを抽出するための解析ツール全体に至るまで、ウエハのマッピングと解析に必要なものはすべて 一箇所で利用が可能です。
柔軟性をさらに高めるために、すべての入力データは編集が可能で、すべての出力ファイルは外部ツールで簡単に使用することができます。


製品ラインナップ

triangle ResMap168 4探針法・手動(2~8インチ)
/自動(4~8インチ)
pdfカタログ(PDF207KB)
triangle ResMap178 4探針法・手動(2~8インチ) pdfカタログ(PDF205KB)
triangle ResMap273 4探針法・手動(2~12インチ) pdfカタログ(PDF203KB)
triangle ResMap463-FOUP 4探針法・自動(300mmFOUP) pdfカタログ(PDF216KB)

「抵抗率測定装置 ResMap168」(動画)