抵抗率測定装置 ResMap(レスマップ)

測定精度が高く、再現性の高い測定を実現します

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Creative Design Engineering, Inc (CDE社) の、高品質で信頼性のある抵抗率測定装置をご提案します。

高性能で費用対効果の高い四探針法の抵抗率測定装置メーカー「CDE社」

CDE社は、米国シリコンバレーで1993年にDr. David Changによって設立された、高性能で費用対効果の高い四探針法の抵抗率測定装置メーカーです。Dr. Changは半導体装置の開発に携わり、50以上の特許を執筆しています。
CDE社は、全世界に650台以上の販売実績があり半導体及び関連業界のユーザー様で採用されています。

測定 [Measurement]

長期的に再現性と精度を提供するため、CDE社はユニークで洗練された高速測定プロセスを開発しました。各測定サイトで何千ものデータをサンプリングした後、独自の統計アルゴリズムが適用され、ノイズ、非線形性、およびゼロ値は実質的に除外されます。0.5%以上の精度と0.02%以上の静的再現性で、1mΩ/sq〜10MΩ/sqの範囲で単一の値が生成されます。


CDE社 抵抗率測定装置 ResMap(レスマップ) 測定

ソフトウエア [Software]

CDE社のシステムは非常に柔軟で直感的なソフトウェアを使用しています。
制約のない定義の測定パターンから、リアルタイムのモニタリング、ユーザーに関連するデータを抽出するための解析ツール全体に至るまで、ウエハのマッピングと解析に必要なものはすべて一箇所で利用が可能です。
柔軟性をさらに高めるために、すべての入力データは編集が可能で、すべての出力ファイルは外部ツールで簡単に使用することができます。


CDE社 抵抗率測定装置 ResMap(レスマップ) ソフトウェア

製品ラインナップ

ResMap168 4探針法・手動(2~8インチ)/自動(4~8インチ) pdfカタログ(PDF207KB)
ResMap178 4探針法・手動(2~8インチ) pdfカタログ(PDF205KB)
ResMap273 4探針法・手動(2~12インチ) pdfカタログ(PDF203KB)
ResMap463-FOUP 4探針法・自動(300mmFOUP) pdfカタログ(PDF216KB)

「抵抗率測定装置 ResMap(レスマップ)168」(動画)