非接触型ウエハハンドリングツール


Breezeワンド

Breeze™ワンド

Breeze™ワンドは、脆弱な極薄ウエハ(50μm)に最適な非接触式のウエハハンドリングツールです。

薄い基板材料にストレスをかけずに搬送可能です。GaAs、GaN、InP、SiCなどの衝撃と熱のいずれにも非常に傷つきやすい化合物半導体材料の基板搬送に最適です。真空ピンセットでは保持が不可能は表面に多数穴・凹凸・反りのあるウエハあるいは厚ウエハなどの様々なサイズや形状のウエハにも対応します。

圧縮ガス(CDA或いは窒素)をBreeze™ワンドのスパージャ管からウエハに気流を送ります。 ベルヌーイ効果により、基板とワンドのプレートから約200μm(0.2mm)ウエハを浮上させます。保持されたウエハが水平方向に位置ずれしないよう囲いピンが付いています。

操作方向により、垂直式のH2B-X型と、水平式のH2BST-X型の2種を標準モデルとしてご用意しています。各種カスタマイズも承ります。

Breeze™ワンド 紹介動画



製品一覧

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triangle 真空ピンセット
・コードレス真空ピンセット(充電式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・ポータブル型真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・小基板用真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle 非接触型ウエハハンドリングツール pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ移載機(枚葉式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ移載機(水平式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハアライナー pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハリフター pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハカセット(メタル製) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハカセット(ePAK社・樹脂製) pdf総合カタログ
triangle ウエハカセット(テフロン製)
triangle フォトマスク用ハンドリング治具 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ外縁ピック pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle 450mm対応製品 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle その他、H-Square社製品 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
H-Square社製 全製品 pdf総合カタログ
ePAK社製 全製品 pdf総合カタログ