ウエハ搬送ハンド用滑り止めパッド SurfCon(サーフコン)

開発中の新型ウエハ搬送用滑り止めパッド Surfcon。2019年12月発表予定。

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SurfCon(サーフコン)は、基材の滑りや位置ずれの問題を防ぎます。吸着しないためスティッキング跡も残りません。パーティクル発生源なし、クリーニングが簡単、200度までに高温に対応します。用途に応じ様々な寸法と形状が可能です。

ウエハ搬送ハンド用滑り止めパッド SurfCon メニュー

原理

壁に吸い付く吸着能力をもつヤモリは、足裏構造に、この力を利用できる仕組みがあります。この構造を模倣し人工的に再現した製品がSurfConです。


SurfCon設置イメージ

SurfCon 原理

SurfCon設置イメージ(設置断面)

※ファンデルワールス力:分子と分子の間に働く弱い引力。

SurfCon 原理

SurfCon表面イメージ

                                

SurfCon

従来型パッドとの違い

従来のパッドの場合

SurfCon 従来型パッドとの違い

従来型の真空吸着パッドの課題
・ウエハのアライメントのズレ(高速搬送に対応不可→低スループット)
・吸着跡(スティッキングマーク)が残る
・真空(エアー)漏れによる吸着力低下でウエハが落下する
など

SurfConは真空を使用せずに、上記の問題を解決します。


用途例

半導体・ウエハ搬送
・検査ツール
FPD・ガラス
・ディスプレイパネル
・フィルム
・カラーフィルムの搬送
モバイル・フィルム&ガラスの搬送
・フィルター(roll to rollコンベヤ)
二次電池・バッテリーパックの搬送
・薄ALホイルの搬送

導入メリット1:基材の滑りやスティッキングを防止

ファンデルワールス力の作用により基材は滑ることなく弱い力で基材に密着します。真空吸着で起こり得る吸着跡(スティッキング)も発生しません。

導入メリット2:パーティクルの発生なし(汚染がない)

SurfCon自体から発塵しませんので、基材を汚染しません。

導入メリット3:高温対応

~200℃までの環境でご使用いただけます。

導入メリット4:長期耐用で簡単クリーニング

パッド自体から発塵はしませんが、ご使用環境によりパッド上にパーティクルが付着した場合は、DIでふき取りクリーニングを行っていただきますと、パッドの効果が復活いたします。

導入メリット5:様々な寸法・形状が可能で取付も簡単

ご要求条件をクリアする仕様(形状、サイズ、寸法)をご提案し製作致します。特殊な両面テープで簡単に取り付けることができます。

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