ウエハ、ガラス、フィルム搬送用滑り止めパッド SurfCon® 導入メリット

導入メリット1:基材の滑りやスティッキングを防止
導入メリット2:パーティクルの発生なし(汚染がない)
導入メリット3:高温対応
導入メリット4:長期耐用で簡単クリーニング
導入メリット5:様々な寸法・形状が可能で取付も簡単

導入メリット1:基材の滑りやスティッキングを防止

ファンデルワールス力の作用により基材は滑ることなく弱い力で基材に密着します。真空吸着で起こり得る吸着跡(スティッキング)も発生しません。

導入メリット2:パーティクルの発生なし(汚染がない)

SurfCon®自体から発塵しませんので、基材を汚染しません。

導入メリット3:高温対応

~260℃までの環境でご使用いただけます。

導入メリット4:長期耐用で簡単クリーニング

パッド自体から発塵はしませんが、ご使用環境によりパッド上にパーティクルが付着した場合は、IPAでふき取りクリーニングを行っていただきますと、パッドの効果が復活いたします。

導入メリット5:様々な寸法・形状が可能で取付も簡単

ご要求条件をクリアする仕様(形状、サイズ、寸法)をご提案し製作致します。特殊な両面テープで簡単に取り付けることができます。

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