解説
冷凍機の冷却される部分
コールドステージが２段式であり、１段目は冷凍能力が大きく８０K(ケルビン） 以下に冷却することができる。ここで主に水分を排気し、２段目でさらに冷却することによってN2,O2,Ar,H2などの分子を排気し、より高真空を得ることができる。
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