クライオポンプ

よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域


ナガセテクノエンジニアリング株式会社は、
住友重機械工業株式会社の極低温冷凍機・クライオポンプの正規代理店です。



クライオポンプ

必要不可欠な「超高真空」

半導体製造プロセスに欠かすことのできない「超高真空」・あるいは新材料や素粒子に関する基礎研究でも「超高真空」は、重要な役割を担っています。よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域で実現することが、先端科学技術の成果をより大きなものへと導いてくれるのです。

高い排気速度とクリーンな真空品質

豊富な空調技術から開発した独自のヘリウム圧縮機とソルベイサイクル冷凍方式によるクライオポンプユニットを発売。高い排気速度とクリーンな真空品質、なにより、その信頼性と完成された機能が、さまざまな現場で評価されてきました。生産性の向上と、効率化を求める二ーズに応えて、ラインアップを追加し、シリーズ別分類によって、 ますます充実したMarathon® CPシリーズ。品質で語る真空が、ここにあります。

仕様一覧

Cryopump Model Marathon®CP
CP-8 CP-8LP CP-250LP CP-12 CP-16 CP-20
窒素(L/s) 1,500 1,800 3,000 3,600 4,800 9,700
水(L/s) 4,200 4,200 6,300 9,560 17,300 29,100
アルゴン(L/s) 1,250 1,500 2,500 3,100 4,100 8,300
水素(L/s) 2,300 3,000 5,000 7,300 12,000 14,000
アルゴンスループット
(Torr - L/s)
11.0 11.0 11.0 12.6 11.4 11.3
アルゴン排気容量(Std L) 1,200 1,600 1,600 2,000 5,500 6,000
水素排気容量(Std L) 25 23 30 50 50 33
クロスオーバー(Torr - L) 220 220 300 650 500 400
ポンプユニット重量(kg) 16.8 17.9 20.0 41.0 50.0 77.0
対応ヘリウムコンプレッサー
Zephyr®      
HC-4E1      
HC-8E4  
F-70