低温・真空関連機器、半導体・液晶パネル等製造用薬液の調整・回収装置、表面欠陥検査装置の販売・保守

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クライオポンプ

ナガセテクノエンジニアリング株式会社は住友重機械工業株式会社の
極低温冷凍機・クライオポンプの正規代理店です

よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域

クライオポンプ

必要不可欠な「超高真空」

半導体製造プロセスに欠かすことのできない「超高真空」・あるいは新材料や素粒子に関する基礎研究でも「超高真空」は、重要な役割を担っています。よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域で実現することが、先端科学技術の成果をより大きなものへと導いてくれるのです。

高い排気速度とクリーンな真空品質

豊富な空調技術から開発した独自のヘリウム圧縮機とソルベイサイクル冷凍方式によるクライオポンプユニットを発売。高い排気速度とクリーンな真空品質、なにより、その信頼性と完成された機能が、さまざまな現場で評価されてきました。生産性の向上と、効率化を求める二ーズに応えて、ラインアップを追加し、シリーズ別分類によって、 ますます充実したMarathon® CPシリーズ。品質で語る真空が、ここにあります。

仕様一覧

Cryopump Model Marathon®CP
CP-8 CP-8LP CP-250LP CP-12 CP-16 CP-20
窒素(L/s) 1,500 1,800 3,000 3,600 4,800 9,700
水(L/s) 4,200 4,200 6,300 9,560 17,300 29,100
アルゴン(L/s) 1,250 1,500 2,500 3,100 4,100 8,300
水素(L/s) 2,300 3,000 5,000 7,300 12,000 14,000
アルゴンスループット
(Torr - L/s)
11.0 11.0 11.0 12.6 11.4 11.3
アルゴン排気容量(Std L) 1,200 1,600 1,600 2,000 5,500 6,000
水素排気容量(Std L) 25 23 30 50 50 33
クロスオーバー(Torr - L) 220 220 300 650 500 400
ポンプユニット重量(kg) 16.8 17.9 20.0 41.0 50.0 77.0
対応ヘリウムコンプレッサー
Zephyr®      
HC-4E1      
HC-8E4  
F-70
クライオポンプ 半導体

半導体製造装置に数多く採用

情報ネットワーク社会の実現ヘ、キーテクノロジーと言われる半導体産業。クライオポンプの信頼性が、生産性の向上に貢献します。スパッタリング装置やイオン注入装置をはじめとした半導体製造装置に数多く採用され、すでに大きな実績をもつクライオポンプ。シンプルな基本構造ならではの、高い信頼性と安定した性能。長い再生インターバルが、装置の連続稼動時間を伸ばし、今製造現場で求められている効率化と生産性向上二一ズに応えています。

半導体製造における応用分野

スパッタリング装置/イオン注入装置/蒸着装置/エッチング装置/CVD等

クライオポンプ

あらゆる物性・物理研究分野において、なくてはならないデバイス

例えば、大字宙の起源を理論上探究することを目的に行われる素粒子の研究。この研究に重要な役割を果たす加速器にも、クライオポンプは利用されています。さまざまな物性や反応を阻害し、そしてそれらの測定や観察を遮る余分な水をはじめとするイオンや粒子。クライオポンプは、これらをスピーディーに排出しクリーンな真空を実現。あらゆる物性・物理研究分野において、なくてはならないデバイスとしてその応用範囲は、まだまだ広がりをもっています。研究テーマに合わせたクライオポンプを御提案致します。

物性・物理研究における応用分野

加速器/核融合装置/電子顕微鏡/分子線エピタキシャル装置(MBE)/スペースチャンバー/表面分析装置/イオンビーム測定装置

クライオポンプ

クライオポンプの原理

独自の冷凍・極低温技術が生んだ高性能クライオポンプ。極低温で超高真空を作るクライオポンプとは気体分子は、絶対零度(-273.15℃)近くに冷却された面に衝突すると、凝縮、吸着する特性をもっています。この特性を利用し、極低温によって気体分子を排出するのがクライオポンプの原理です。

クライオポンプは、2段階の冷凍機で構成され、ファーストステージ(50K~80K)バッフル部:主に水蒸気を吸着。セカンドステージ(10K~20K〉:酸素や窒素、アルゴンなどの気体分子を凝縮吸着。さらに凝縮温度の低い水素やヘリウム、ネオンなどもセカンドステージ内面にコーティングした活性炭によって低温吸着。これによって処理空間内の気体を希薄にし10-6~10-7Pa以下という超高真空を作り出します。高効率で極めて高い信頼性を誇る《ソルベイサイクル》を採用。 クライオポンプは、心臓部ともいえる冷凍サイクルに《ソルベイサイクル》方式を採用しています。ソルベイサイクル方式の採用により機械的複雑さがなく、極めて信頽性の高い運転を実現。部品点数も少なくメンテナンスもスピーディーに行えます。

特長

逆拡散のないクリーンな超高真空

クライオポンプは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。

スピーディーな排気で生産性を向上

到達圧力は、水蒸気の排気速度で決まります。クライオポンプは、特に水蒸気に対して排気速度が大きく、スピーディーな真空排気で、生産性の向上に貢献します。

オールマイティにすべての気体に対応

極低温による凝縮と活牲炭による低温吸着の併用で、あらゆる気体をスピーディーに排気します。(毒性、危険性ガスについては対策が必要)

タテ、ヨコ取付け方向は自在

取付け方向の制約がなく周辺条件や設計思想に合わせた自在な取付けが行えます。