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HVA社高真空バルブ

ナガセテクノエンジニアリング株式会社は米国HVA社の日本国内販売代理店です。

高品質・コンパクトな高真空バルブ

HVA社の高真空バルブ・超高真空バルブは、半導体製造装置をはじめ、研究機器など様々な分野に対応する多種多様のゲートバルブ、スリットバルブを取り揃えております。長年、大手半導体製造装置メーカーのOEM製品としても採用実績のある、高品質でコンパクトな高真空バルブを、ナガセテクノエンジニアリング株式会社が販売、修理・メンテナンスをおこないます。

HVA社高真空バルブ

用途

半導体製造装置、イオン注入装置、CVD装置
真空ポンプ、LED、太陽光パネル、真空チャンバー、研究機器

OEM採用事例

11000シリーズアプライドマテリアルズHDP‐CVD装置
21000シリーズアプライドマテリアルズイオン注入装置
16000シリーズノベラス(ラムリサーチ)CVD装置
11000シリーズRiber(リベール)MBE装置

製品一覧

※製品カテゴリ(青字)をクリックすると製品一覧ページに飛びます。
ステンレス製ゲートバルブ
・高真空・超高真空スタンダードタイプ
 11000シリーズ
pdfカタログ(PDF3.4MB)
・低振動、開閉頻度の高いアプリケーション用
 21200シリーズ
pdfカタログ(PDF2.9MB)
・シールド付ゲートバルブ
 16000シリーズ
pdfカタログ(PDF2.8MB)
・3ポジションゲートバルブ
 21700シリーズ
pdfカタログ(PDF3.0MB)
・各種CVD用ロングライフタイプ
 71000シリーズ
pdfカタログ(PDF1.2MB)
・各種CVD用スタンダードタイプ
 72000シリーズ
pdfカタログ(PDF1.2MB)
アルミニウム製ゲートバルブ
・スタンダードタイプ
 81000シリーズ
pdfカタログ(PDF2.0MB)
・低コスト、シンプルデザイン
 83000シリーズ
pdfカタログ(PDF1.0MB)
矩形スリットバルブ
・ステンレス製 プロセスチャンバーなど
 28200シリーズ
pdfカタログ(PDF1.5MB)
・アルミニウム製 プロセスチャンバーなど
 88200シリーズ
pdfカタログ(PDF2.1MB)