低温・真空関連機器、半導体・液晶パネル等製造用薬液の調整・回収装置、表面欠陥検査装置の販売・保守

HVA社高真空バルブ

ナガセテクノエンジニアリング株式会社は米国HVA社の日本国内販売代理店です。

高品質・コンパクトな高真空バルブ

HVA社高真空バルブ

HVA社の高真空バルブ・超高真空バルブは、半導体製造装置をはじめ、研究機器など様々 な分野に対応する多種多様のゲートバルブ、スリットバルブを取り揃えております。 長年、大手半導体製造装置メーカーのOEM製品としても採用実績のある、高品質でコンパク トな高真空バルブを、ナガセテクノエンジニアリング株式会社が販売、修理・メンテナンスをおこないます。

用途


半導体製造装置、イオン注入装置、CVD装置
真空ポンプ、LED、太陽光パネル、真空チャンバー、研究機器


OEM採用事例


11000シリーズ  アプライドマテリアルズ  HDP‐CVD装置
21000シリーズ  アプライドマテリアルズ  イオン注入装置
16000シリーズ  ノベラス(ラムリサーチ) CVD装置
11000シリーズ  Riber(リベール)     MBE装置

製品一覧

※製品カテゴリ(青字)をクリックすると製品一覧ページに飛びます。
triangle ステンレス製ゲートバルブ
・高真空・超高真空スタンダードタイプ      11000シリーズ pdfカタログ(PDF3.4MB)
・低振動、開閉頻度の高いアプリケーション用   21200シリーズ pdfカタログ(PDF2.9MB)
・シールド付ゲートバルブ            16000シリーズ pdfカタログ(PDF2.8MB)
・3ポジションゲートバルブ            21700シリーズ pdfカタログ(PDF3.0MB)
・各種CVD用ロングライフタイプ                          71000シリーズ pdfカタログ(PDF1.2MB)
・各種CVD用スタンダードタイプ                          72000シリーズ pdfカタログ(PDF1.2MB)
triangle アルミニウム製ゲートバルブ
・スタンダードタイプ                81000シリーズ pdfカタログ(PDF2.0MB)
・低コスト、シンプルデザイン                             83000シリーズ pdfカタログ(PDF1.0MB)
triangle 矩形スリットバルブ
・ステンレス製 プロセスチャンバーなど       28200シリーズ pdfカタログ(PDF1.5MB)
・アルミニウム製 プロセスチャンバーなど      88200シリーズ pdfカタログ(PDF2.1MB)
HVA

http://www.highvac.com/