HVA社高真空バルブ/製品一覧


ステンレス製ゲートバルブ

11000シリーズ 高真空タイプ(HV)

11000シリーズ 高真空タイプ(HV)

・手動式/圧空式
・フランジ:KF、ISO、ICF、JIS、ANSI
・サイズ:0.625”(DN16 mm)~32”(DN800 mm)
・圧力範囲:1.0×10-7 ~ 1.0×105 Pa

11000シリーズ 超高真空タイプ(UHV)

11000シリーズ 超高真空タイプ(UHV)

・手動式/圧空式
・フランジ:ICF
・サイズ:0.625”(DN16mm)~14”(DN350mm)
・圧力範囲:1.0×10-8 ~ 1.0×105 Pa

21200シリーズ ロングライフゲートバルブ

21200シリーズ

ロングライフゲートバルブ。

・高真空タイプ(HV)/超高真空タイプ(UHV)
・手動式/圧空式
・フランジ:KF、ISO、ICF、JIS、ANSI
・サイズ:0.625”(DN16 mm)~24”(DN600 mm)
・圧力範囲:(HV)1.0×10-7 ~ 1.0×105 Pa
      (UHV)1.0×10-8 ~ 1.0×105 Pa

16000シリーズ

16000シリーズ

ゲートをパーティクルから保護する、PTFE製シールド付。

・HV高真空タイプ/UHV超高真空タイプ
・手動式/圧空式
・フランジ:KF、ISO、ICF、JIS、ANSI
・サイズ:1.5”(DN40 mm)~14”(DN350 mm)
・圧力範囲:(HV)1.0×10-7 ~ 1.0×105 Pa
      (UHV)1.0×10-8 ~ 1.0×105 Pa

21700シリーズ

21700シリーズ

3ポジション型ゲートバルブ。
OPEN、CLOSEに加え、任意位置でゲートを止めることが可能。

・HV高真空タイプ/UHV超高真空タイプ
・手動式/圧空式
・フランジ:KF、ISO、ICF、JIS、ANSI
・サイズ:1.5”(DN40 mm)~20”(DN500 mm)
・圧力範囲:(HV)1.0×10-7 ~ 1.0×105 Pa
      (UHV)1.0×10-8 ~ 1.0×105 Pa

71000シリーズ

71000シリーズ

CVD等 重負荷プロセス用ゲートバルブ。
ロングライフタイプ。

・HV高真空タイプ
・手動式/圧空式
・フランジ:KF、ISO、ICF、JIS、ANSI
・サイズ:2.0”(DN50 mm)~8”(DN200 mm)
・圧力範囲:1.0×10-7 ~ 1.0×105 Pa
※手動式:ビジュアルインジケータ付

72000シリーズ

72000シリーズ

CVD等 重負荷プロセス用ゲートバルブ。

・HV高真空タイプ
・手動式/圧空式
・フランジ:KF、ISO、ICF、JIS、ANSI
・サイズ:2.0”(DN50 mm)~8”(DN200 mm)
・圧力範囲:1.0×10-7 ~ 1.0×105 Pa
※手動式:ビジュアルインジケータ付

アルミニウム製ゲートバルブ

81000シリーズ

81000シリーズ

ロングライフタイプ。
ボディはフランジ上部で分割でき、最小限のクリアランスでゲートを取り外せます。

・HV高真空タイプ
・手動式/圧空式
・フランジ:KF、ISO、ICF、JIS、ANSI
・サイズ:1.5”(DN40 mm)~12”(DN300 mm)
・圧力範囲:1.0×10-4 ~ 1.0×105 Pa

83000シリーズ

83000シリーズ

ALLアルミニウム製ゲートバルブ。
ボディはフランジ上部で分割でき、最小限のクリアランスでゲートを取り外せます。
ゲート両サイドでシールする二重封じ込め設計。

・HV高真空タイプ
・手動式/圧空式
・フランジ:KF、ISO、ICF、JIS、ANSI
・サイズ:1.5”(DN40 mm)~4”(DN100 mm)
・圧力範囲:1.0×10-4 ~ 1.0×105 Pa
※手動式:ビジュアルインジケータ付

矩形スリットバルブ

28200シリーズ ステンレス製

28200シリーズ ステンレス製

・HV高真空タイプ/UHV超高真空タイプ
・圧空式
・フランジ:高さ≦6”(DN150 mm) ×幅 ≦78”(DN2,000 mm)
・サイズ:1.5”(DN40 mm)~14”(DN350 mm)
・標準MESCボルトタイプ/クランプタイプ

88200シリーズ アルミニウム製

88200シリーズ アルミニウム製

・HV高真空タイプ/UHV超高真空タイプ
・圧空式
・フランジ:高さ≦6”(DN150 mm) ×幅 ≦78”(DN2,000 mm)
・サイズ:1.5”(DN40 mm)~14”(DN350 mm)
・標準MESCボルトタイプ/クランプタイプ