半導体製造用他、各種基板ハンドリングツール・装置

高度なエンジニアリングと熟練した製造技術による高品質で多種多様な基板搬送ツール

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epak

半導体、MEMS、LED、フラットパネル、ディスク、バイオ、フォトリソグラフィー、太陽電池などの各業界に、ご用途とプロセスに合った製品をご提供しています。多種多様なサイズ・材質の基板は、その特性やデバイスの機能により、独自の搬送手段が求められます。H-Square社・ePAK社製の、高品質で信頼性のある様々なハンドリング方法をご提案します。

世界で最も経験豊かなハンドリングツールメーカー「H-Square社」

H-Square社は米国シリコンバレーで創立40年を超える世界で最も経験豊かなハンドリングツールのメーカーです。ナガセテクノエンジニアリングは、H-Square社創立以来日本の総代理店としてお客様に製品をご提供し続けています。品質と信頼性に優れたH-Square社製品は世界をリードする半導体他製造メーカー様で採用され、基板ハンドリングの向上のために活用されています。

hsquare

特長

・ユーザー特有の基板形状に応じたカスタム品の設計が可能


・静電気対策、温度環境、化学的環境に適した材料の選定が可能


・優れた耐久性及び消耗部品の交換が可能な構造で長期使用が可能

製品一覧

※製品名をクリックすると詳細ページに飛びます。
真空ピンセット
・コードレス真空ピンセット(充電式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・ポータブル型真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・小基板用真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
非接触型ウエハハンドリングツール pdf総合カタログ(該当頁のみ)
ウエハ移載機(枚葉式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
ウエハ移載機(水平式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
ウエハアライナー pdf総合カタログ(該当頁のみ)
ウエハリフター pdf総合カタログ(該当頁のみ)
ウエハカセット(メタル製) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
ウエハカセット(ePAK社・樹脂製) pdf総合カタログ
ウエハカセット(テフロン製)
フォトマスク用ハンドリング治具 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
ウエハ外縁ピック pdf総合カタログ(該当頁のみ)
450mm対応製品 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
その他、H-Square社製品 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
H-Square社製 全製品 pdf総合カタログ
ePAK社製 全製品 pdf総合カタログ