ウエハ移載機(水平式)


手動ウエハ移載機(水平式)

手動ウエハ水平移載装置

カセット間で安全にウエハを一括移載します。
耐薬品材質でウェットエリアを含むあらゆる用途で使用可能です。
静電気対策型もあります。
クラス10クリーンルーム対応。

手動ウエハ水平移載装置 紹介動画

自動ウエハ水平移載装置

自動ウエハ水平移載装置

カセット間で安全にウエハを一括移載します。
カセット位置センサー付でカセットが正確に位置決めされると作動し 安全確実にウエハを移載します。
静電気対策型。
クラス1クリーンルーム対応。

自動ウエハ水平移載装置 紹介動画

ローコンタクト自動ウエハ移載機(水平式)

ローコンタクト自動ウエハ水平移載装置

カセットからカセットへ安全にウエハを一括移載します。
ウエハを持ち上げてロード/アンロードを行います。
既にウエハの入ったカセットへのロード動作等の誤操作防止センサ付。
コンパクトな卓上タイプ。
静電気対策型。
クラス1クリーンルーム対応。

ローコンタクト自動ウエハ水平移載装置 紹介動画

300mm用自動ウエハ移載機(水平式)

300mm/450mm対応
ローコンタクト自動ウエハ水平移載装置

300mm/450mmウエハ用ローコンタクトウエハ水平移載装置です。
キャリアからキャリアへウエハを安全に一括移載します。
ウエハを持ち上げてロード/アンロードを行います。
キャリア内のウエハ検知用センサ、ウエハの交差や二枚重ねなどのエラー検知用ウエハマッピング及び緊急EMOスイッチを装備。
コンパクトな卓上タイプ。
SEMI規格FOUP・FOSB・金属製ベークカセット対応。
静電気対策型。
クラス1クリーンルーム対応。

300mm用ローコンタクト自動ウエハ水平移載装置 紹介動画



製品一覧

※製品名をクリックすると詳細ページに飛びます。
triangle 真空ピンセット
・コードレス真空ピンセット(充電式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・ポータブル型真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・小基板用真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle 非接触型ウエハハンドリングツール pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ移載機(枚葉式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ移載機(水平式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハアライナー pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハリフター pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハカセット(メタル製) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハカセット(ePAK社・樹脂製) pdf総合カタログ
triangle ウエハカセット(テフロン製)
triangle フォトマスク用ハンドリング治具 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ外縁ピック pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle 450mm対応製品 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle その他、H-Square社製品 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
H-Square社製 全製品 pdf総合カタログ
ePAK社製 全製品 pdf総合カタログ