ウエハリフター


WPR

WPR型回転機能付自動ウエハ検査装置

ウエハの表面検査、抜取・入替に最適なプログラム式の自動ウエハプレゼンタです。
奇数、偶数、連続検査などのプロセスに応じプログラムが可能です。
運転モードは自動プログラムモード、手動モードから選択できます。
クラス1クリーンルーム対応。

WPR型回転機能付自動ウエハ検査装置 紹介動画

HL型手動ウエハリフター

HL型手動ウエハリフター

ウエハの検査、抜取・入替に最適な手動のウエハプレゼンタです。
V溝形状のリフト部はウエハのエッジのみを保持し、隣接するウエハに接触せずにウエハを持ち上げます。
コンパクトな卓上タイプ。
ほとんどのSEMI規格のウエハおよびカセットに対応します。
静電気対策型、耐薬品性プラスチック製。
クラス10クリーンルーム対応

HL型手動ウエハリフター 紹介動画

WB5L型手動ウエハリフター

WB5L型手動ウエハリフター

5スロット間隔で5枚のウエハを一度にリフトアップします。
真空ピンセットを使用するウエハ検査作業を安全かつ容易に行うことができます。
持ち上げるウエハを確認しやすいポジションインジケータ付。
コンパクトな卓上タイプ。
ほとんどのSEMI規格のウエハとカセットに対応します。
静電気対策型、耐薬品性プラスチック製。

エスカレーター(手動)

ETAS1型手動ウエハエスカレーター

カセットを本体にセットすると、ウエハがIDを読み取りやすい25度の角度でリフトアップします。
静電気対策型。

ETAS1型手動ウエハエスカレーター 紹介動画

エスカレーター(自動)

AETW型自動ウエハエスカレーター

自動でオリフラ・ノッチを整列したのち、IDが読み取りやすいようウエハを自動でリフトアップします。操作スティックでウエハの傾斜角度の調整が可能です。
コンパクトな卓上タイプ。
オプションでLEDライト取付可能。
静電気対策型。
クラス1クリーンルーム対応。

AETW型自動ウエハエスカレーター 紹介動画



製品一覧

※製品名をクリックすると詳細ページに飛びます。
triangle 真空ピンセット
・コードレス真空ピンセット(充電式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・ポータブル型真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・小基板用真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle 非接触型ウエハハンドリングツール pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ移載機(枚葉式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ移載機(水平式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハアライナー pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハリフター pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハカセット(メタル製) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハカセット(ePAK社・樹脂製) pdf総合カタログ
triangle ウエハカセット(テフロン製)
triangle フォトマスク用ハンドリング治具 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ外縁ピック pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle 450mm対応製品 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle その他、H-Square社製品 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
H-Square社製 全製品 pdf総合カタログ
ePAK社製 全製品 pdf総合カタログ