低温・真空関連機器、半導体・液晶パネル等製造用薬液の調整・回収装置、表面欠陥検査装置の販売・保守

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ウエハ移載機(枚葉式)


AWM型自動ウエハ枚葉移載装置

AWM型自動ウエハ枚葉移載装置

コンパクトな卓上型ソーター。
ウエハの移載、ソート、分割、その他特殊プログラムが可能。
タッチスクリーン操作で、登録したレシピモード、手動モードの選択が可能。
エンドエフェクタにはウエハマッピングセンサ及び緊急EMOスイッチを搭載。
OCR読取、アライナー機能は搭載していません。
100mm、150mm、200mmの何れかに対応します。
MEMS、TSV、Taikoウエハなど、表裏面とも接触できないウエハの端面除外領域(外周端)を掴むことができる特殊エンドエフェクターもオプションでご用意可能です。詳しくはお問合せ下さい。

AWM型自動ウエハ枚葉移載装置 紹介動画



製品一覧

※製品名をクリックすると詳細ページに飛びます。
triangle 真空ピンセット
・コードレス真空ピンセット(充電式) pdf総合カタログ(PDF462KB)
・ポータブル型真空ピンセット pdf総合カタログ(PDF568KB)
・真空ピンセット pdf総合カタログ(PDF2.58MB)
・小基板用真空ピンセット pdf総合カタログ(PDF551KB)
triangle 非接触型ウエハハンドリングツール
triangle ウエハ移載機(枚葉式) pdf総合カタログ(PDF409KB)
triangle ウエハ移載機(水平式) pdf総合カタログ(PDF680KB)
triangle ウエハアライナー pdf総合カタログ(PDF765KB)
triangle ウエハリフター pdf総合カタログ(PDF584KB)
triangle ウエハカセット(メタル製) pdf総合カタログ(PDF1.07MB)
triangle ウエハカセット(ePAK社・樹脂製)
triangle ウエハカセット(テフロン製)
triangle フォトマスク用ハンドリング治具 pdf総合カタログ(PDF658KB)
triangle ウエハ外縁ピック pdf総合カタログ(PDF532KB)
triangle 450mm対応製品 pdf総合カタログ(PDF672KB)
triangle その他、H-Square社製品 pdf総合カタログ(PDF547KB)
H-Square社製 全製品 pdf総合カタログ(PDF6.12MB)
ePAK社製 全製品 pdf総合カタログ(PDF5.3MB)