ウエハ移載機(枚葉式)


AWM型自動ウエハ枚葉移載装置

AWM2型自動ウエハ枚葉移載装置

コンパクトな卓上型ソーター。
ウエハの移載、ソート、分割、ピッチ変更、その他特殊プログラムが可能。
タッチスクリーン操作で、登録したレシピモード、手動モードの選択が可能。
エンドエフェクタにはウエハマッピングセンサ及び緊急EMOスイッチを搭載。
OCR読取、アライナー機能は搭載していません。
75mm、100mm、150mm、200mmの何れかに対応します。
MEMS、TSV、Taikoウエハなど、表裏面とも接触できないウエハの端面除外領域(外周端)を掴むことができる特殊エンドエフェクターもオプションでご用意可能です。詳しくはお問合せ下さい。

AWM2型自動ウエハ枚葉移載装置 紹介動画



製品一覧

※製品名をクリックすると詳細ページに飛びます。
triangle 真空ピンセット
・コードレス真空ピンセット(充電式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・ポータブル型真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・小基板用真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle 非接触型ウエハハンドリングツール pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ移載機(枚葉式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ移載機(水平式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハアライナー pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハリフター pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハカセット(メタル製) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハカセット(ePAK社・樹脂製) pdf総合カタログ
triangle ウエハカセット(テフロン製)
triangle フォトマスク用ハンドリング治具 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ外縁ピック pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle 450mm対応製品 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle その他、H-Square社製品 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
H-Square社製 全製品 pdf総合カタログ
ePAK社製 全製品 pdf総合カタログ