ウエハ移載機(枚葉式)

AWM2型自動ウエハ枚葉移載装置

コンパクトな卓上型ソーター。
ウエハの移載、ソート、分割、ピッチ変更、その他特殊プログラムが可能。
タッチスクリーン操作で、登録したレシピモード、手動モードの選択が可能。
エンドエフェクタにはウエハマッピングセンサ及び緊急EMOスイッチを搭載。
OCR読取、アライナー機能は搭載していません。
75mm、100mm、150mm、200mmの何れかに対応します。
MEMS、TSV、Taikoウエハなど、表裏面とも接触できないウエハの端面除外領域(外周端)を掴むことができる特殊エンドエフェクターもオプションでご用意可能です。詳しくはお問合せ下さい。

AWM型自動ウエハ枚葉移載装置

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真空ピンセット
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