フォトマスク用ハンドリング治具


マスクピック

マスクピック

フォトマスク、レチクル搬送用のマスクピック、レチクルピック。
基板を汚染から守り安全に搬送します。
厳しいクリーン度基準においてフォトマスクのハンドリングに欠かせないツールです。


特長

・端面のみを保持し、表面・裏面には非接触
・ペリクル付レチクルやオリフラ付き円形マスクに対応
・可動部品数が最小限でパーティクルが発生しにくく、クリーニングが容易
・操作性の良いトリガタイプ
・V型グリッパにより、面取りされたマスクを平面からロード可能
・グリッパ幅やV溝深さなどは、ご用途に応じカスタム可能

マスクピック紹介動画

MPS1シリーズ サイドグリップ型マスクピック

MPS1シリーズ サイドグリップ型マスクピック

マスクのサイドを保持します。ハンドル角度が15°傾斜している為、マスクを保管容器や治具から1枚ずつ確実に出し入れが可能です。

MPH1シリーズ 水平グリップ型マスクピック

MPH1シリーズ 水平グリップ型マスクピック

マスクを水平に保持します。各種容器に対応します。特殊用途向けに90°角度ハンドル付きタイプもあります。

MPH1シリーズ 水平グリップ型マスクピック
MPV1シリーズ 縦型マスクピック

MPV1シリーズ 縦型マスクピック

マスクを垂直に保持します。保管容器に収納されたマスクの出し入れが可能です。

SQ21518シリーズ 4点グリップ型マスクピック (特殊用途)

SQ21518シリーズ
4点グリップ型マスクピック (特殊用途)

マスクの4点を保持します。水平オフセット或いはクリアランスに制限のあるマスクケースへのロード・アンロードなどの用途向けです。

SMIFポッドオープナー

SMIFポッドオープナー

手動のレチクルポッドオープナー。
あらゆるレチクルケースに使用可能です。
静電気対策品。

SMIFポッドオープナー紹介動画



製品一覧

※製品名をクリックすると詳細ページに飛びます。
triangle 真空ピンセット
・コードレス真空ピンセット(充電式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・ポータブル型真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・小基板用真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle 非接触型ウエハハンドリングツール pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ移載機(枚葉式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ移載機(水平式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハアライナー pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハリフター pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハカセット(メタル製) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハカセット(ePAK社・樹脂製) pdf総合カタログ
triangle ウエハカセット(テフロン製)
triangle フォトマスク用ハンドリング治具 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ外縁ピック pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle 450mm対応製品 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle その他、H-Square社製品 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
H-Square社製 全製品 pdf総合カタログ
ePAK社製 全製品 pdf総合カタログ