ウエハ外縁ピック


基板搬送用メカニカルピックです。
キャリアからの抜取、装置セッティング、枚葉エッチングなどの用途に適しています。
基板の端面のみ或いは外周を保持する各種デザインがあります。

特長

・端面或いは外周を一定圧で保持しクリーンな取扱いが可能。
・常時閉型で操作性、安全性に優れます。
・可動部品数が最小限でパーティクルが発生しにくく、クリーニングが容易。
・特殊角度、ロックラッチ付トリガー、材質など、ご指定可能

MCPシリーズメカニカルエッジグリップピック

MCPシリーズメカニカルエッジグリップピック

常時閉型のメカニカルピックで、基板のエッジ部を保持します。
グリッパ部にKalrez®製I-リングを使用。
様々な用途向けにカスタマイズ可能で、あらゆるサイズ・材質・厚みの基板に対応します。

MCPシリーズメカニカルエッジグリップピック紹介動画

ODPシリーズメカニカルウエハピック

ウエハピック

ODPメカニカル3点ピック(3点保持)

ウエハ搬送用メカニカルピック。
装置セッティングや枚葉エッチングなどに適したツールです。
V溝グリッパにより基板エッジ部のみを確実に保持し、裏面・表面には接触しません。
様々な用途向けにカスタマイズ可能で、あらゆるサイズ・材質・厚みの基板に対応します。
静電気対策型もあります。

ウエハピック

ODP MPS型メカニカルピック(2点保持)

ウエハ搬送用メカニカルピック。
基板のサイド2カ所を保持します。
V溝グリッパにより基板エッジ部のみを確実に保持し、裏面・表面には接触しません。
様々な用途向けにカスタマイズ可能で、あらゆるサイズ・材質・厚みの基板に対応します。
静電気対策型もあります。

ウエハピック

ODP MPH型メカニカルピック(2点保持)

ウエハ搬送用メカニカルピック。
基板の上下2カ所を保持します。
V溝グリッパにより基板エッジ部のみを確実に保持し、裏面・表面には接触しません。
様々な用途向けにカスタマイズ可能で、あらゆるサイズ・材質・厚みの基板に対応します。
静電気対策型もあります。

ODPシリーズメカニカルエッジグリップピック紹介動画



製品一覧

※製品名をクリックすると詳細ページに飛びます。
triangle 真空ピンセット
・コードレス真空ピンセット(充電式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・ポータブル型真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・小基板用真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle 非接触型ウエハハンドリングツール pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ移載機(枚葉式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ移載機(水平式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハアライナー pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハリフター pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハカセット(メタル製) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハカセット(ePAK社・樹脂製) pdf総合カタログ
triangle ウエハカセット(テフロン製)
triangle フォトマスク用ハンドリング治具 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ外縁ピック pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle 450mm対応製品 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle その他、H-Square社製品 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
H-Square社製 全製品 pdf総合カタログ
ePAK社製 全製品 pdf総合カタログ