半導体製造用各種ハンドリングツール・装置 ウエハカセット

樹脂製(ePAK社)
メタル製

樹脂製(ePAK社)

プロセス用ウエハケース

プロセス用カセット
ePB型 プロセス用カセット 対応ウエハサイズ:
2, 3, 4, 5, 6, 8(inch)
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プロセス用カセット
ePB型 PFA製 プロセス用カセット 対応ウエハサイズ:
2, 3, 4, 6, 8(inch)
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保管用ボックス
ePBX型 保管用ボックス 対応ウエハサイズ:
2, 3, 4, 5, 6, 8(inch)
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ePAK社樹脂製の搬送用ウエハケース

ウエハ出荷容器
ePRO型 ウエハ出荷容器 対応ウエハサイズ:
4, 5, 6, 8(inch)
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ウエハ出荷容器
eMS型 ウエハ出荷容器 対応ウエハサイズ:
2, 3, 4, 6(inch)
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ウエハ出荷容器
eV型 真空成形 ウエハ出荷容器 対応ウエハサイズ:
2, 3, 4, 6(inch)
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ウエハジャー
eJR型 ウエハジャー 対応ウエハサイズ:
4, 5, 6, 8, 12(inch)
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ウエハインサート
eIL型 ウエハインサート 対応ウエハサイズ:
4, 5, 6, 8, 12(inch)
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ウエハ容器
eLX型 ウエハ容器 対応ウエハサイズ:
6, 8, 12(inch)
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ウエハ容器
eLC型 ウエハ容器 対応ウエハサイズ:
5, 6, 8, 12(inch)
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シングルウエハシッパー
eCT型コインスタイル シングルウエハシッパー 対応ウエハサイズ:
1, 2, 3, 4, 5, 6(inch)
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メタル製フレックスフレーム
eMF型 メタル製フレックスフレーム 対応ウエハサイズ:
6, 8, 12(inch)
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メタル製

高温プロセス用ウエハケース

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