ウエハカセット(メタル製)


メタル製の搬送用/プロセス用ウエハケース

2851型

2851型メタルカセット

アルミニウム製。
耐熱温度:250℃

2851シリーズは、半導体製造用に使用される従来型のメタルカセットです。
CVD及びエッチング工程用のウエハトラック、フォトレジストベークシステム及びロボットロードシステムに使用される殆どのOEM金属製カセットの代わりに使えます。
表面処理は、硬質透明陽極処理、硬質黒色陽極処理、無電解ニッケル、PFAコーティングの4種から選択可能です。

MC1型

MC1型メタルカセット

アルミニウム製。
硬い末端壁付。
耐熱温度:250℃

MC1シリーズは、一般的な2851シリーズをベースとするHバーの反対側にあるステンレス製スペーサーバーに硬い末端壁が付いたタイプです。
硬い末端壁はカセットの耐衝撃性と耐久性を高め、長期に亘りアライメントを維持します。また、Hバーを下側にして使用する用途では、ウエハへの異物付着を防ぐシールドの役目も果たします。
表面処理は、硬質透明陽極処理、硬質黒色陽極処理、無電解ニッケル、PFAコーティングの4種から選択可能です。

SSC型

SSC型カセット

ステンレス製。
高温ベーク、超音波洗浄などの特殊工程用。
耐熱温度:550℃

全て溶接止めの316SST電解研磨ステンレス製です。316SSTは、302SSTや304SSTより耐腐食性に優れた材質です。
外観寸法はSEMI規格のプラスチック製カセットに類似しています。

MCF型

MCF型メタルカセット

アルミニウム製。
耐熱温度:350℃

標準プラスチック製カセットと同形状のメタルカセットです。
プラスチックカセットの代替として使用可能です。

SQ22766型

SQ22766型メタルカセット

アルミニウム製。
ウエハサポート部もアルミニウム製の高温用途用。
耐熱温度:350℃

標準2851/MC1シリーズと同形状です。アルミニウム製のウエハサポートはカセットの膨張・収縮によるウエハへの傷を防ぎます。

300mm用

300mm用ステンレスカセット

ステンレス製。
300mmウエハ用。
ウエハの滑り落ち防止ロックバー付。
耐熱温度:550℃

全て溶接止めの316SST電解研磨ステンレス製です。
SEMI規格に準じたキネマカップリングポジショナーとインフォパッド仕様。FOUP/FOSBからの移載に適合します。

製品一覧

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triangle 真空ピンセット
・コードレス真空ピンセット(充電式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・ポータブル型真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
・小基板用真空ピンセット pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle 非接触型ウエハハンドリングツール pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ移載機(枚葉式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ移載機(水平式) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハアライナー pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハリフター pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハカセット(メタル製) pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハカセット(ePAK社・樹脂製) pdf総合カタログ
triangle ウエハカセット(テフロン製)
triangle フォトマスク用ハンドリング治具 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle ウエハ外縁ピック pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle 450mm対応製品 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
triangle その他、H-Square社製品 pdf総合カタログ(該当頁のみ)
H-Square社製 全製品 pdf総合カタログ
ePAK社製 全製品 pdf総合カタログ