MARATHON® CP-20 CRYOPUMP

MARATHON® CP-20 CRYOPUMP

特長

取付フランジは、ISO500, ANSI 20“又はワイヤシールフランジの中からお選びいただけます。

オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。

納入範囲(標準構成)

CP-20クライオポンプ

ヘリウム圧縮機(F-70L/H)

3Mフレキシブルガスホース

3Mコールドヘッドケーブル

ガスホース接続用レンチキット

標準仕様

項目 MARATHON® CP-20 CRYOPUMP
>窒素(L/s) 9,700
水(L/s) 29,100
アルゴン(L/s) 8,300
水素(L/s) 14,000
アルゴンスループット
(Torr - L/s)
11.3
アルゴン排気容量(Std L) 6,000
水素排気容量(Std L) 33
クロスオーバー(Torr - L) 400
クールダウンタイム(分) 190
ポンプユニット重量(kg) 77
H寸法(mm) 569
メンテナンスサイクル(時間) 13,000