原理と特長

クライオポンプ

原理

独自の冷凍・極低温技術が生んだ高性能クライオポンプ。極低温で超高真空を作るクライオポンプとは気体分子は、絶対零度(-273.15℃)近くに冷却された面に衝突すると、凝縮、吸着する特性をもっています。この特性を利用し、極低温によって気体分子を排出するのがクライオポンプの原理です。

クライオポンプは、2段階の冷凍機で構成され、ファーストステージ(50K~80K)バッフル部:主に水蒸気を吸着。セカンドステージ(10K~20K〉:酸素や窒素、アルゴンなどの気体分子を凝縮吸着。さらに凝縮温度の低い水素やヘリウム、ネオンなどもセカンドステージ内面にコーティングした活性炭によって低温吸着。これによって処理空間内の気体を希薄にし10-6~10-7Pa以下という超高真空を作り出します。高効率で極めて高い信頼性を誇る《ソルベイサイクル》を採用。 クライオポンプは、心臓部ともいえる冷凍サイクルに《ソルベイサイクル》方式を採用しています。ソルベイサイクル方式の採用により機械的複雑さがなく、極めて信頽性の高い運転を実現。部品点数も少なくメンテナンスもスピーディーに行えます。

特長

逆拡散のないクリーンな超高真空

クライオポンプは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。

スピーディーな排気で生産性を向上

到達圧力は、水蒸気の排気速度で決まります。クライオポンプは、特に水蒸気に対して排気速度が大きく、スピーディーな真空排気で、生産性の向上に貢献します。

オールマイティにすべての気体に対応

極低温による凝縮と活牲炭による低温吸着の併用で、あらゆる気体をスピーディーに排気します。(毒性、危険性ガスについては対策が必要)

タテ、ヨコ取付け方向は自在

取付け方向の制約がなく周辺条件や設計思想に合わせた自在な取付けが行えます。