MARATHON® CP-16 CRYOPUMP

MARATHON® CP-16 CRYOPUMP

特長

取付フランジは、ISO400, CVC10“又はワイヤシールフランジの中からお選びいただけます。

オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。

納入範囲(標準構成)

CP-16クライオポンプ

ヘリウム圧縮機(HC-8E4 or F-70L/H)

3Mフレキシブルガスホース

3Mコールドヘッドケーブル

ガスホース接続用レンチキット

標準仕様

項目 MARATHON® CP-16LP CRYOPUMP
窒素(L/s) 4,800
水(L/s) 17,300
アルゴン(L/s) 4,100
水素(L/s) 12,000
アルゴンスループット
(Torr - L/s)
11.4
アルゴン排気容量(Std L) 5,500
水素排気容量(Std L) 50
クロスオーバー(Torr - L) 500
クールダウンタイム(分) 135
ポンプユニット重量(kg) 50
H寸法(mm) 633
メンテナンスサイクル(時間) 13,000