MARATHON® CP-12 CRYOPUMP

MARATHON® CP-12 CRYOPUMP

特長

取付フランジは、ANSI10“, ISO320又はCF14“の中からお選びいただけます。

オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。

納入範囲(標準構成)

CP-12クライオポンプ

ヘリウム圧縮機(HC-8E4 or F-70L/H)

3Mフレキシブルガスホース

3Mコールドヘッドケーブル

ガスホース接続用レンチキット

標準仕様

項目 MARATHON® CP-12 CRYOPUMP
窒素(L/s) 3,600
水(L/s) 9,560
アルゴン(L/s) 3,100
水素(L/s) 7,300
アルゴンスループット
(Torr - L/s)
12.6
アルゴン排気容量(Std L) 2,000
水素排気容量(Std L) 50
クロスオーバー(Torr - L) 650
クールダウンタイム(分) 90
ポンプユニット重量(kg) 41
H寸法(mm) 600
メンテナンスサイクル(時間) 13,000