解説
固体の表面に電界で加速された高エネルギーのイオン粒子を照射して衝突させると、その固体の表面の原子・分子が外へはじき出されて表面が損耗する現象。真空蒸着の困難な高融点・低蒸気圧の元素や酸化物の薄膜
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- 多機能高せん断真空ミキサー m-Highest V®
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- オープンクリーンシステム KOACH
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