解説
Standard Mechanical Interfaceの略。
複数枚のウエハ或いはレチクルを収納可能な、底面に開閉機構を持つ密閉型容器。局所クリーン技術として米国やアジアで先行採用された。
- 製品情報
- ドライポンプ省電力化モジュール
- 脱臭装置 デオライザー
- 排水浄化装置 アクアブラスター
- 多機能高せん断真空ミキサー m-Highest V®
- 混濁液体用UV殺菌システム ASEPTORAY™
- オープンクリーンシステム KOACH
- 静電塗布装置 Micro Mist Coater
- ウエハ搬送ハンド用滑り止めパッド SurfCon®
- 極低温測定技術 真空低温プローバー
- 極低温冷凍機／クライオスタット
- 半導体製造用各種 ハンドリングツール
- クライオポンプ
- HVA社 高真空バルブ
- 薬液管理装置 CMS
- モバイル静電キャリア
- 表面欠陥検査装置 SCANTEC（外部サイト）
- 農業・環境関連製品システム
- マルチパスフィルター試験装置 Test Rig
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