MEMS対応真空低ノイズプローバー

真空中での低ノイズ測定が可能に

MEMS対応真空低ノイズプローバー

概要

簡単な操作で安定した測定を実現
真空中での半導体デバイスの低ノイズ測定を可能にした装置です。
室温から160℃までの 温度範囲にて安定した測定が可能になります。

特長

チップ(20x20mm) ~ 8インチウェハ全面まで対応可能!

完全同軸測定系採用により±50fA以下の測定可能!

4~6本マニピュレーター、プローブカード等選択豊富な測定系

大気圧近くでの安定した微小真空度調整が可能

仕様

項目 Grail88-MEMS
装置寸法 1230(w) x 1340(d) x 1639(h)
装置重量 600kg程度
測定エリア 8インチウェハ全面以内
設置可能試料サイズ チップ(20x20mm) ~ 8・6・4インチウェハ
試料移動ステージ XY軸200mm、Z軸20mm、θ軸±10mm程度
プローブ数 4本(max 6本)
バックゲート 1本
プローブ構造 SMA同軸プローブ針
プローブガード
フィードスルー TRIAXコネクター
顕微鏡 X22~150ズーム式顕微鏡
測定ノイズ ±50fA以下
温度コントロール範囲 -45℃~160℃
真空コントロール範囲 大気~10Pa
保証 納入後1年