ウエハ、ガラス、フィルム搬送用滑り止めパッド SurfCon® 原理・従来型パッドとの違い

原理
従来型パッドとの違い
SurfCon® 紹介動画

原理

壁に吸い付く吸着能力をもつヤモリは、足裏構造に、この力を利用できる仕組みがあります。この構造を模倣し人工的に再現した製品がSurfCon®です。


SurfCon®設置イメージ

 ウエハ搬送の場合

SurfCon設置イメージ ウエハの場合



 ガラス搬送の場合

SurfCon設置イメージ ガラスの場合




上記以外の用途をご検討の場合は、用途例ページをご参照ください。




SurfCon®設置イメージ(設置断面)

※ファンデルワールス力:分子と分子の間に働く弱い引力。

SurfCon 原理

SurfCon®製品表面の拡大イメージ(Surface Structure)

SurfConの拡大イメージ

従来型パッドとの違い

従来のパッドの場合

SurfCon 従来型パッドとの違い

従来型の真空吸着パッドの課題
・ウエハのアライメントのズレ(高速搬送に対応不可→低スループット)
・吸着跡(スティッキングマーク)が残る
・真空(エアー)漏れによる吸着力低下でウエハが落下する
など

SurfCon®は真空を使用せずに、上記の問題を解決します。




SurfCon® 紹介動画





新製品