DDS-11 現像液濃度管理装置

現像液の2つの成分濃度をリアルタイムで自動管理

DDS-11 現像液濃度管理装置

アルカリ濃度とレジスト濃度をオンラインで自動コントロール

DDS-11は、現像装置に1対1で接続し、現像液成分であるアルカリ濃度と、現像処理によって溶解するレジスト濃度をオンラインでリアルタイムに計測し、自動濃度コントロールによって、現像液の成分濃度を一定に保ち、デバイス製造プロセスの安定化と、現像液の使用量、廃液量の大幅削減を可能にするシステムです。

特長

独自の高精度導電率計と、吸光度計による濃度管理 (オプションで炭酸塩計測も可能)

現像液品質の一定化(デバイス製造プロセスの安定化)

現像液の使用量の60%以上削減(実績値)

現像廃液量の削減

クリームルーム内設置を考慮したコンパクト設計

製造プロセス用途に応じた豊富なバリエーション