DDS-32S 現像液希釈・濃度管理装置

現像液の希釈と、現像液の成分濃度管理機能を一体化

DDS-32S 現像液希釈・濃度管理装置

DDS-21とDDS-11の機能をコンパクトに一体化

DDS-32Sは、現像装置に1対1で接続し、現像原液を簡易希釈して現像装置に供給すると共に、DDS-11のノウハウに基づき、現像液の濃度をオンラインでリアルタイムに計測し、自動濃度コントロールによって、現像液の成分濃度を一定に保ち、デバイス製造プロセスの安定化と、現像液の使用量、廃液量の大幅削減を可能にするシステムです。

特長

パイロットラインや、少量生産ラインに最適

独自の高精度導電率計と、吸光度計による濃度管理

現像液品質の一定化(デバイス製造プロセスの安定化)

現像液の使用量の60%以上削減(実績値)

現像廃液量の削減