剥離液の液ライフを延ばし、使用量、廃棄量を削減
剥離液の主要成分濃度をオンラインで自動コントロール
RMSとは、剥離液の成分濃度を一定に保ち、デバイス製造プロセスの安定化と、剥離液の液ライフを延ばすことにより、液交換頻度を減らし、剥離液の使用量および廃液量削減を可能にするシステムです。
特長
吸光度計による高精度な濃度管理
剥離液品質の一定化（デバイス製造プロセスの安定化）
剥離液使用量の削減
剥離廃液量の削減
クリームルーム内設置を考慮したコンパクト設計
剥離液の成分に応じた豊富なバリエーション
