RMS 剥離液濃度管理装置

剥離液の液ライフを延ばし、使用量、廃棄量を削減

RMS 剥離液濃度管理装置

剥離液の主要成分濃度をオンラインで自動コントロール

RMSとは、剥離液の成分濃度を一定に保ち、デバイス製造プロセスの安定化と、剥離液の液ライフを延ばすことにより、液交換頻度を減らし、剥離液の使用量および廃液量削減を可能にするシステムです。

特長

吸光度計による高精度な濃度管理

剥離液品質の一定化(デバイス製造プロセスの安定化)

剥離液使用量の削減

剥離廃液量の削減

クリームルーム内設置を考慮したコンパクト設計

剥離液の成分に応じた豊富なバリエーション