薬液管理装置 CMS DDS-21(S)
現像液希釈供給装置

現像液の高精度連続希釈、連続供給を可能にし、
多くの実績による現像液の品質安定を確保

高品質の現像液をユースポイントに供給するシステム

DDS-21は、現像原液の高精度希釈を行い、高品質の現像液をユースポイントに供給するシステムです。 オンサイトで連続希釈、連続供給ができるため、現像液の品質安定および輸送費のコスト回避が可能となります。

DDS-21(S) 現像液希釈供給装置

特長

独自の高精度導電率計による濃度管理

連続希釈によるシステムの高信頼性

現像液の品質安定

輸送容器および輸送費の大幅削減