複数の現像装置で使用された現像廃液を一括回収し、
現像液の成分濃度を一定に再生・供給
複数の現像装置に対して、現像液を一括回収し、再生・供給
DMS-Ⅱは、複数の現像装置から使用済み現像液を一括回収し、DDS-11のノウハウに基づき、現像液成分であるアルカリ濃度と、現像処理によって溶解するレジスト濃度を一定に再生し、現像装置に再供給するシステムです。
特長
複数の現像装置に対して集中管理が可能
独自の高精度導電率計と、吸光度計による濃度管理
現像液品質の一定化（デバイス製造プロセスの安定化）
現像液の使用量の60%以上削減（実績値）
現像廃液量の削減
